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Filmetrics 3D光學輪廓儀具有3倍於於其成本儀器的次納米級垂直分辨率, Profilm3D同樣使用了現今高分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含垂直掃描幹涉（VSI）及相移幹涉（PSI）。
更新時間：2024-03-19
型號：Profilm 3D
廠商性質：代理商
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